Ion source for mass productionIon beam assist deposition, surface modificati ,dry eching

진공 코팅 현장에서 일하다 보면 기판에 올린 막이 들뜨거나 쉽게 벗겨져서 골머리를 앓는 경우가 정말 많습니다. 특히 유리나 플라스틱 위에 얇은 금속막을 올릴 때 단단하게 붙지 않으면 다음 공정으로 넘어갈 수가 없죠. 이런 문제를 잡기 위해 사전 표면 처리용 이온소스를 적극적으로 도입하고 있습니다. 오늘은 현장에서 직접 검증한 이온소스 박막 접착 성능과 함께 객관적인 시험 데이터를 공유해 드리겠습니다. 박막 공정의 수율을 끌어올리는 데 큰 도움이 되실 겁니다^^ ​ ​ 1. 이온소스 박막 부착력 향상 원리 박막 증착 공정에서 이온 빔을 사용하는 주된 이유는 기판과 코팅층 사이의 접착력과 치밀도를 극대화하기 위함입니다. 공정 전에 이온 빔으로 기판 표면을 깎아내는 스퍼터링 작업을 거치면 미세 오염물과 산화막이 깨끗하게 날아갑니다. 또한 증착 초기 단계에 에너지를 전달해 기판과 박막 계면의 원자들이 서로 얽히는 원자 믹싱 현상을 유도합니다. 이러한 물리적 결합 덕분에 내부 잔류 응력이 줄어들고 들뜸이 방지됩니다. 결과적으로 이온소스 박막 구조는 빈틈없이 단단한 내구성을 확보하게 됩니다. ​ ​ 2. 박막 부착력 측정 및 평가 방식 현장에서 주로 진행하는 부착력 테스트 방식은 크게 정량적 평가와 정성적 평가로 구분됩니다. 다이아몬드 탐사침으로 수직 하중을 가하며 긁어내는 스크래치 테스트는 박리가 일어나는 임계 하중을 수치로 환산하는 대표적인 정량 방법입니다. 반면 간이 방식으로 널리 쓰이는 테이프 테스트는 표면에 격자 칼집을 낸 뒤 접착 테이프를 강하게 붙였다 떼어내는 방식입니다. 접착 지그를 붙여 수직으로 당겨보는 필 오프 인장 시험 역시 도막 강도를 확인할 때 활용됩니다. 정밀한 평가를 위해서는 공인 시험 기관의 객관적인 데이터가 필수적입니다. ​ ​ 3. 한국폴리머시험연구원 공인 시험 데이터 비교 실제 유리 기판 위에 니켈을 스퍼터 방식으로 증착한 뒤 한국폴리머시험연구원에 의뢰하여 정밀한 이온소스 박막 부착력 측정을 진행했습니다. 칼로 바둑판 모양의 격자를...